描述
利用人工智能技术进行自诊断及故障的早期预测。由于人工神经网络具有自组织自学习自适应的能力及并行处理能力等,经过训练可对HCS进行监控和故障检测,并对故障作出早期预测,优化过程控制,提高系统的工作可靠性。
NTA Industries Cleanroom Cart Model: 5525C21
Hewlett Packard 800/G50 9000 Server
Alcatel ADP 80 W Vacuum Pump
CLIMET Multi-Port Sampler CI-330-10
Watkins Johnson (WJ) Optical Sensor Interface NEW
Tylan General 4 Chamber Controller (w/ watlow 965)- NEW
VAT Mini UHV Gate Valve P/N: 01032-KE11-0001/0010
CCI Systems Electrical Dist. Box 208V, 50A, 3-Phase
CCI Systems Electrical Dist. Box 208V, 25A, 3-Ph (1597)