描述
要严格控制电子设备间的环境条件,注意搞好消防、空调、通风及照明等工作。尤其要提的是通风和空调,由于DCS控制系统度温度要求严格,所以应尽早将空调系统投入运行,中央空调时出风口的不能正对机柜或DCS其他电子设备,以免冷凝水渗透到设备内造成危害;同时,电子卡件决不允许有粉尘进行,所以,要求电子间能一直保持环境清洁和滤网干净,注意除湿和调整好温度。
Leybold WA1000 Vacuum Pump
Cybor Photo Resist Pump Model 5116C w/ Filter System
Leybold 100E CVD DRY VAC Vacuum Pump
GE Parametric MIS Probe, SN 44921, NEVER USED
Accurate Gas Control Systems Chiller AGT354D
Applied Materials TXZ Drive Assy. 5000, 5200, 5500 CVD
Ebara Vacuum Pump Model 80X25 w small coolers and power