描述
要有必需的后备手段:重要的保护和联锁,出了有通讯连接外,还必须具有硬接线方式;对重要的调节设备,除了在操作员站上有软手操外,还必须有后备手操,以便在DCS控制系统控制器或I/O模件发生故障时,仍然可以对重要设备进行及时干预
Leybold WS151 Vacuum Pump Blower
Tokyo Electron Cover Bellows A (DRM2) ***NEW***
Applied Materials LSI Slit Valve Liner P/N 0020-19003
Applied Materials LSI Slit Valve Filler P/N 0021-09718
Leybold Pump P/N 21945 Removed from Leybold Ultratest F
Leybold Pump P/N 590 29113 from Leybold Ultratest F