描述
DCS分为三大部分,带I/O板的控制器、通讯网络和人机界面(hmi)。由I/O板通过端子板直接与生产过程相连,读取传感器来的信号。I/O板有几种不同的类型,每一种I/O板都有相应的端子板。
KLA Tencor PN: 710-806050-01 rev D2 CAMERA Board
KLA-Tencor Surfscan 6200 Wafer Surface Analysis System
KLA/Tencor/Tokyo Electron VIP Card Board TEL
KLA Tencor Scan Generator II PCB 820-06915
KLA Tencor PN: 710-806051-01 rev.AO DP Board
KLA-Tencor CRS1010 0031469-000 CRS SYSTEMS COMPUTER