描述
对于DCS系统的维护工作,关键是要做到预防第一,作为系统维护人员应根据系统配置和生产设备控制情况,制定科学、合理、可行的维护策略和方式方法,做到预防性维护、日常维护紧密配合,进行系统的、有计划的、定期的维护,保证系统在要求的环境下长期良好地运行,使生产过程控制平稳、运行稳定,为实现生产和效益的目标,提供可靠保证。
KLA-Tencor NGP, SP2 Mask Changer Assembly 0053106-002
KLA-Tencor AIT1 Solenoid PCB 001050T Working
KLA-Tencor UV Mask Polarizer NNC AIT 0023725-000
KLA-Tencor AIT 2 Optics Module 0099610-000 untested
Aerotech KLA-Tencor AIT 2 DR 500 Controller 510432
KLA-Tencor TMC STACIS 2000 Active Vibration Control