描述
过程通道出现最多是卡件故障或就地总线故障。一种原因是卡件本身厂时间工作,元器件老化或损坏;另外,因外部信号接地或强点信号串入卡件也会导致通道故障。现在一般卡件本身都采取了良好的隔离措施,一般情况下不会导致故障的扩大,但此类故障一旦出现,则直接造成过程控制或监控功能的不正常。所以要及时查明故障原因,及时进行更换卡件。
KLA-Tencor AIT1 Robot Distr. Assy. PCB 530352 Working
KLA-Tencor AIT 2 XP Datapackage Board 0052989-002
KLA-Tencor 2365 VA Shutter Driver D880C working
KLA-Tencor AIT2 Power Assembly LPM 390500
KLA-Tencor Tropel Lens Assy. 0099750-000 untested
KLA-Tencor AIT 2 UI Splitter Board 547247 AA working