描述
主要考虑来自系统外部的几种抑制措施。主要内容包括:对DCS系统及外引线进行屏蔽以防空间辐射电磁干扰;对外引线进行隔离、滤波,特别是动力电缆应分层布置,以防通过外引线引入传导电磁干扰;正确设计接地点和接地装置,完善接地系统。另外,还必须利用软件手段,提高系统的安全可靠性。
Leybold Turbovac 1000C Turbo Vacuum Pump 6″ ASA
Leybold TMP341MCT Turbomolecular Vacuum Pump 250.0 LPS
Leybold Turbovac 340M Turbomolecular Vacuum Pump 250.0
Leybold WS1001 Roots Blower Vacuum Pump 707.0 CFM
Varian V1000HT Turbomolecular Vacuum Pump 950.0 LPS
Varian V1000HT Vacuum Pump Controller
Osaka Vacuum TG1810 TG-1810 Compound Molecular Pump
Edwards iQDP40 Dry Semiconductor Vacuum Pump w iQMB 250