描述
要有必需的后备手段:重要的保护和联锁,出了有通讯连接外,还必须具有硬接线方式;对重要的调节设备,除了在操作员站上有软手操外,还必须有后备手操,以便在DCS控制系统控制器或I/O模件发生故障时,仍然可以对重要设备进行及时干预。
MASS FLOW CONTROLLER UNIT UFC-1400A Gas:N2 Range:10Sccm
MASS FLOW CONTROLLER UNIT UFC-1400A Gas:N2 500Sccm
MASS FLOW CONTROLLER UNIT UFC-1400 Gas:N2 Range:1SLM
MASS FLOW CONTROLLER UNIT UFC-1401A Gas:N2 Range:10Sccm
MASS FLOW CONTROLLER UNIT UFC-1660 Gas:CO2 150Sccm