描述
内部干扰:是由系统的结构布局、线路设计、元器件性质变化和漂移等原因造成的,主要有:分别电容、分布电感引起的耦合感应;电磁场辐射感应;长线传输的波反射;多点接地造成的电位差引入的干扰;寄生震荡引起的干扰以及热噪声、闪变噪声、尖峰噪声等。
Applied Materials 5 Ph Stepper Motor Driver Interface
Athena Temperature Controller Model 4000-T-E-30-79
HPS Elbow 90 Degree, RAD, MF80-CUS SPC
HPS / MKS KF50 Valve with Solenoid
Nanometrics Wafer Handler P/N 8200-0366
Nanometrics Sublimator Assy. Control Box