描述
DCS采用大规模集成电路及计算机技术,需要有良好的外部环境。因此不仅需定期对模件进行清理,在停机检修时更要做好清理工作,主要清除模件上的灰尘、污垢、腐蚀性油污及其污染物,清洁处理应在防静电工作台上进行,以防静电放电损坏模件。模件清扫时,应使用洁净的仪用空气,气源管前部禁止用金属管子,毛刷应经常对地放电,吹出灰尘要用吸尘器吸净,避免腐蚀电路板,更要防止产生静电
AVAGO 10G-XFP-LR HFCT-711XPD 1310NM TRANSCEIVER
MILLIPORE 2960 .15SLPM 5% SiH4 95% N2 MASS FLOW CONTROL
UNIT UFC-1660 2 SLM NF3 MASS FLOW CONTROLLER MFC
STEC SEC-4400M O2 5SLM 5 SLM MASS FLOW CONTROLLER MFC
STEC SEC-4000M O2 50 SCCM MASS FLOW CONTROLLER MFC
TYLAN 2950 0.5 SLPM 5% PH3 95% N2 MASS FLOW CONTROLLER
MKS HPS MANUAL ANGLE VALVE UHV-40-ACC-EAVM 2 3/4 FLANGE
NATIONAL INSTRUMENTS NI PCI-GPIB 183617G-01 CARD