描述
高速数据通道的通信系统,实现了各控制器、监控计算机和管理计算机的综合控制,通过高速数据通道,能把各自为政的控制器与监控计算机联系起来,进行协调控制。利用监控计算机的运算能力,能完成高级复杂的控制算法,以实现整体的最优化。利用管理计算机丰富的软硬件资源和信息资源,实现计划、管理、决策的最优化,从而实现整个系统控制的最优化。
AMAT PART # 0200-20060 INSULATING QUARTZ 6″ SMF PC11
THERMCO PCB ASSEMBLY PART # 110568-005 Z-80 PROCESSOR
NOVELLUS NICKEL SPINDLE SHAFT
AMAT PART # 0200-35145 ADAPTER WINDOW 2mm RP CHAMBER
ADVANCED ENERGY PDX 500 RF GENERATOR
LAM PART # 770-008341-002 PNEUMATIC CYLINDER
AMAT PART #0200-20074 DOOR PRECLEAN CHAMBER QUARTZ
AMAT PART # 0020-24435 INSULATOR QUARTZ 8″
PARKER THREE WAY VALVE MODEL # 955Y3NC
THREE WAY VALVE AMAT PART # 3870-02221