描述
由于DCS的网络需要满足被控过程的实时性要求和分散性原则,因此DCS的网络结构是环形和总线型,在这两种结构的网络中,各个节点是平等的,任意二个节点之间的通信可以直接通过网络进行,而不需要其他节点的介入,但另一方面,它需要共用传输介质,实现传输介质共享,一种主要解决方法是以令牌来限定每个节点用网络的时间,另一种方法则是CSMA/CD方式,即载波侦听与碰撞检测技术,但它主要用于更高层的管理。
AMAT PART # 0200-32985 GAS RING 12 HOLES
MKS ISOLATION VALVE MODEL # L2-40-AK-225-VNVNH
AMAT PART 0020-19002
LAM GATE HEAD IONIZED PART # 715-012233-003
VEXTA STEPPING MOTOR MODEL PX243-01B
LAM 6 ” SPIN CHUCK PART # 715-013718-006
AMAT PART # 0200-09086
SLOW VACUUM VALVE MODEL # FPR-91-9.52
PEDESTAL VACUUM PRESSURE SWITCH PART # 0090-77032
LAM RESEARCH BAFFLE PLATE LOWER PART # 715-011913-083