描述
过程通道出现最多是卡件故障或就地总线故障。一种原因是卡件本身长时间工作,元器件老化或损坏;另外,因外部信号接地或强电信号窜入卡件也会导致通道故障。现在一般卡件本身都采取了良好的隔离措施,一般情况下不会导致故障的扩大,但此类故障一旦出现,则直接造成过程控制或监控功能的不正常。所要要及时查明故障原因,及时进行更换卡件。
Varian TV 550 Turbopump NEW
Leybold Cryopump Coolvac 1500 rebuilt 0190-12092
Edwards iQDP40 Dry Vacuum Pump QMB250 Blower rebuilt
SC2 NASH VACUUM PUMP, 20 HP
SC2 NASH VACUUM PUMP
Used- Nash Vacuum Pump, 14520040300000D, test# 70U-5813
Used- Rietschle oil seal vacuum pump. Type VL-100-(03).
USED NASH SC4 VACUUM PUMP PACKAGE