描述
组态配置:装置回路的I/O组态定义数量不应超过系统提供的同类型卡件最大I/O容量的80%,依此来确定系统I/O卡件配置数量,这将给未来的组态调整带来方便。另外,为方便系统运行过程中I/O组态的增加的不便,可以考虑将部分备用通道分别组态为临时回路,需要时可以随时使用。
Edwards EXT255H Turbomolecular Vacuum Pump 220.0 LPS
Leybold D40BCS&CFS Rotary Vane Vacuum Pump 32.5 CFM
Vaccubrand MV10 Diaphragm Vacuum Pump 5.2 CFM
Vaccubrand PC2004 Diaphragm Vacuum Pump 2.2 CFM
Varian TV301 Turbomolecular Vacuum Pump 250.0 LPS
Varian V550 Vacuum Pump Controller
BIG 3hp Welch DuoSeal 1398 Vacuum Pump 1500l/m 2-stage
12″ CVi TM 250 Torr Master Cryopump Vacuum Pump